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真空腔體的相關(guān)知識(shí)

來(lái)源：http://www.520ny.com.cn發(fā)布時(shí)間：2019-03-15

真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動(dòng)真空。產(chǎn)品的特點(diǎn)有改善的機(jī)臺(tái)定位的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)，抽氣時(shí)間、穩(wěn)定時(shí)間縮短等等。
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